發布日期：2022-04-18 點擊率：102
真空表是壓力表的一種，工作原理可以分好幾種。按真空計測量原理分類
（1）靜態液位真空計：利用U型管兩端液面差來測量壓力。
（2）彈性元件真空計：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產生彈性變耐震壓力表形來測量壓力值的大小。
間接測量真空計壓力為10-1Pa時，作用電接點壓力表在1cm2表面上力只有10-5N，顯然測量這樣小的力是困難的。但可根據低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于這類的真空計有：
（1）壓縮式真空計：其原理是在U型管的基礎上真空壓力表再應用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經過等溫壓縮使之壓力增加，以便用U型管真空計測量，然后用體積和壓力的關系計算被測壓力。
（2）熱傳導真空計：利用低壓下氣體熱傳導與壓力有關這一原理制成。常用的有電阻真空計和熱偶真空計。
（3）熱輻射真空計：利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關原理。
（4）電離真空計：利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產生的離子流隨電力變化的原理。如：熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等。
（5）放電管指示器：利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關的性質判定真空度，一般僅能作為定性測量。
（6）粘滯真空計：利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計和磁懸浮轉子真空計。
（7）場致顯微儀：以吸附和解吸時間與壓力關系計算壓力。
（8）分壓力真空計：利用質譜技術進行混合氣體分壓力測量。常用的有四極質譜計、回旋質譜計和射頻質譜計等。
利用彈性元件在壓差作用下產生彈性變形的原理制成的真空測量儀表稱為彈性元件真空表。在結構和外形上與工業用壓力表類似，一般用于粗真空(102～105Pa)的測量。根據變形彈性元件分類，這類真空計通常有彈簧管式、膜盒式和膜片式，其結構如圖所示。
彈性元件真空表的主要特點如下：
(1)測量結果是氣體和蒸氣的全壓力，并與氣體種類、成分及其性質無關；
(2)測量過程中，儀表的吸氣和放氣很小，同時儀表內部沒有高溫部件，不會使油蒸氣分解；
(3)測量精度較高；
(4)反應速度較快；
(5)結構牢固，選用適當材料能測量腐蝕性氣體；
(6)是絕對真空計，0.5級以上的表可作為標準表
標簽: 真空表
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