加速度傳感器的精度：了解一下加速度傳感器有哪些技術(shù)要求
加速度傳感器為滿足使用中的工況環(huán)境和量程、精度等需求，要做正確的選型，我們來了解一下加速度傳感器有哪些技術(shù)要求。
加速度傳感器的選型要求
靈敏度
傳感器的靈敏度是傳感器的最基本指標(biāo)之一。傳感器的靈敏度應(yīng)根據(jù)被測(cè)振動(dòng)量（加速度值）大小而定，但由于壓電加速度傳感器是測(cè)量振動(dòng)的加速度值，而在相同的位移幅值條件下加速度值與信號(hào)的頻率平方成正比，所以不同頻段的加速度信號(hào)大小相差甚大。
大型結(jié)構(gòu)的低頻振動(dòng)其振動(dòng)量的加速度值可能會(huì)相當(dāng)小，例如當(dāng)振動(dòng)位移為 1mm, 頻率為1 Hz 的信號(hào)其加速度值僅為0.04m/s2(0.004g)；然而對(duì)高頻振動(dòng)當(dāng)位移為0.1mm，頻率為10 kHz的信號(hào)其加速度值可達(dá)4 x 10 5m/s2(g)。因此盡管壓電式加速度傳感器具有較大的測(cè)量量程范圍，但對(duì)用于測(cè)量高低兩端頻率的振動(dòng)信號(hào)，選擇加速度傳感器靈敏度時(shí)應(yīng)對(duì)信號(hào)有充分的估計(jì)。
最常用的振動(dòng)測(cè)量壓電式加速度計(jì)靈敏度，電壓輸出型（IEPE 型）為50~100 mV/g，電荷輸出型為10 ~ 50 pC/g。
量程范圍
加速度值傳感器的測(cè)量量程范圍是指?jìng)鞲衅髟谝欢ǖ姆蔷€性誤差范圍內(nèi)所能測(cè)量的最大測(cè)量值。通用型壓電加速度傳感器的非線性誤差大多為1%。作為一般原則，靈敏度越高其測(cè)量范圍越小，反之靈敏度越小則測(cè)量范圍越大。
IEPE電壓輸出型壓電加速度傳感器的測(cè)量范圍是由在線性誤差范圍內(nèi)所允許的最大輸出信號(hào)電壓所決定。而電荷輸出型測(cè)量范圍則受傳感器機(jī)械剛度的制約，在同樣的條件下傳感敏感芯體受機(jī)械彈性區(qū)間非線性制約的最大信號(hào)輸出要比IEPE型傳感器的量程大得多，其值大多需通過實(shí)驗(yàn)來確定。
一般情況下當(dāng)傳感器靈敏度高，其敏感芯體的質(zhì)量塊也就較大，傳感器的量程就相對(duì)較小。同時(shí)因質(zhì)量塊較大其諧振頻率就偏低這樣就較容易激發(fā)傳感器敏感芯體的諧振信號(hào)，結(jié)果使諧振波疊加在被測(cè)信號(hào)上造成信號(hào)失真輸出。因此在最大測(cè)量范圍選擇時(shí)，也要考慮被測(cè)信號(hào)頻率組成以及傳感器本身的自振諧振頻率，避免傳感器的諧振分量產(chǎn)生。同時(shí)在量程上應(yīng)有足夠的安全空間以保證信號(hào)不產(chǎn)生失真。
測(cè)量頻率范圍
傳感器的頻率測(cè)量范圍是指?jìng)鞲衅髟谝?guī)定的頻率響應(yīng)幅值誤差內(nèi)（±5%, ±10%, ±3dB）傳感器所能測(cè)量的頻率范圍。頻率范圍的高，低限分別稱為高，低頻截至頻率。截至頻率與誤差直接相關(guān)，所允許的誤差范圍大則其頻率范圍也就寬。作為一般原則，傳感器的高頻響應(yīng)取決于傳感器的機(jī)械特性，而低頻響應(yīng)則由傳感器和后繼電路的綜合電參數(shù)所決定。高頻截止頻率高的傳感器必然是體積小，重量輕，反之用于低頻測(cè)量的高靈敏度傳感器相對(duì)來說則一定體積大和重量重。
選擇加速度計(jì)的頻率應(yīng)高于被測(cè)物的振動(dòng)頻率，有倍頻分析要求的加速度計(jì)頻響應(yīng)更高。土木工程是低頻，加速度計(jì)可選擇0.2Hz～1kHz左右，機(jī)械設(shè)備一般是中頻段，可根據(jù)設(shè)備轉(zhuǎn)速、設(shè)備剛度等因素綜合估計(jì)頻率，選擇0.5Hz～5kHz的加速度計(jì)。沖擊測(cè)量高頻居多。
內(nèi)部結(jié)構(gòu)
內(nèi)部結(jié)構(gòu)是指敏感材料晶體片感受振動(dòng)的方式及安裝形式，有壓縮和剪切兩大類，常見的有中心壓縮、平面剪切、三角剪切、環(huán)型剪切。中心壓縮頻響高于剪切型，剪切型的環(huán)境適應(yīng)性好于中心壓縮型。如配用積分型電荷放大器測(cè)量速度、位移時(shí)，最好選用剪切型產(chǎn)品，這樣所得信號(hào)波動(dòng)小，穩(wěn)定性好。
輸出型式
取決于系統(tǒng)和加速度傳感器之間的接口。一般模擬輸出的電壓和加速度是成比例的，比如2.5V對(duì)應(yīng)0g的加速度，2.6V對(duì)應(yīng)于0.5g的加速度。數(shù)字輸出一般使用脈寬調(diào)制（PWM）信號(hào)。
如果使用的微控制器只有數(shù)字輸入，比如BASIC Stamp，那就只能選擇數(shù)字輸出的加速度傳感器了，但是必須占用額外的一個(gè)時(shí)鐘單元用來處理PWM信號(hào)，同時(shí)對(duì)處理器也是一個(gè)不小的負(fù)擔(dān)。
如果使用的微控制器有模擬輸入口，比如PIC/AVR/OOPIC，可以非常簡(jiǎn)單的使用模擬接口的加速度傳感器，所需要的就是在程序里加入一句類似"acceleration=read_adc()"的指令，而且處理此指令的速度只要幾微秒。
內(nèi)置電路
內(nèi)置的概念是將電荷/電壓轉(zhuǎn)換放大電路置于加速度計(jì)內(nèi)，成為具有電壓輸出功能的傳感元件。它可分雙電源(四線)及單電源(二線并帶偏置的稱ICP)兩種，下面所指內(nèi)裝電路專指ICP型。
目前，內(nèi)置電路傳感器在國(guó)內(nèi)使用較多的方面是用于機(jī)械故障、樁基檢測(cè)，不少在線監(jiān)測(cè)項(xiàng)目上也在使用該類產(chǎn)品。
ICP傳感器的芯線作供電并又是信號(hào)輸出通道。內(nèi)置電路傳感器靈敏度的選型計(jì)算：
如選用目前最為通用的100mV/g,可測(cè)50g以內(nèi)振動(dòng)，因?yàn)樵搨鞲衅鲃?dòng)態(tài)范圍±5Vp，如測(cè)量100g，則用50mV/g的加速度計(jì)，其余以此類推。
內(nèi)置電路的優(yōu)勢(shì)是低價(jià)位，抗干擾好，可長(zhǎng)線使用，但它的耐高溫、可靠性不如電荷輸出產(chǎn)品，且動(dòng)態(tài)范圍也因輸出電壓和偏置電壓的作用而受到限制。
測(cè)量軸數(shù)量
對(duì)于多數(shù)項(xiàng)目來說，兩軸的加速度傳感器已經(jīng)能滿足多數(shù)應(yīng)用了。對(duì)于某些特殊的應(yīng)用，比如UAV，ROV控制，三軸的加速度傳感器可能會(huì)適合一點(diǎn)。
三軸加速度傳感器可以實(shí)現(xiàn)雙軸正負(fù)90度或雙軸0-360度的傾角，通過校正后期精度要高于雙軸加速度傳感器大于測(cè)量角度為60度的情況。
三軸加速度傳感器具有體積小和重量(gm)輕特點(diǎn)，可以測(cè)量空間加速度，能夠全面準(zhǔn)確反映物體的運(yùn)動(dòng)性質(zhì)，在航空航天、機(jī)器人、汽車和醫(yī)學(xué)、消費(fèi)電子等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。
外部環(huán)境的影響
某些測(cè)試現(xiàn)場(chǎng)的環(huán)境較為惡劣，考慮的因素較多，如防水、高溫、安裝位置、強(qiáng)磁電場(chǎng)及地回路等，均會(huì)給測(cè)量帶來極大的影響。
防水：
防水有兩個(gè)概念，淺層防水和深層防水，尤以深層防水為難，如三峽工程永久船閘閘門的振動(dòng)監(jiān)測(cè)，水深近百米，它涉及地回路干擾、高壓滲水、導(dǎo)線防護(hù)、長(zhǎng)期可靠性等諸多問題。
溫度影響：
溫度改變而引起傳感器輸出變化是由壓電材料（敏感芯體）特性所造成的。傳感器輸出與溫度間并不呈線性變化，一般說低溫時(shí)的輸出變化比高溫時(shí)的要大。另因?yàn)楦鱾鞲衅鞯臏囟软憫?yīng)很難保持一致，所以實(shí)際使用中傳感器的輸出一般很少用溫度系數(shù)進(jìn)行修正。
需要特別指出溫度變化有穩(wěn)態(tài)和瞬態(tài)兩種，傳感器輸出靈敏度隨溫度變化通常是指穩(wěn)態(tài)高低溫度狀態(tài)對(duì)信號(hào)輸出的影響。瞬態(tài)溫度變化對(duì)傳感器輸出的影響主要表現(xiàn)在低頻測(cè)量中。
多數(shù)廠商給出的溫度范圍為可用值，而不是高溫狀況的靈敏度，實(shí)際上，高溫時(shí)靈敏度偏差較大，特殊用戶應(yīng)向廠商索取專用的高溫時(shí)的靈敏度指標(biāo)，靈敏度指標(biāo)是保證測(cè)試準(zhǔn)確的關(guān)鍵。
位置限制：
加速度計(jì)永久安裝在現(xiàn)場(chǎng)會(huì)受到人為碰撞，應(yīng)選擇工業(yè)型產(chǎn)品，在加速度計(jì)外加裝防護(hù)罩，這可同時(shí)起絕緣、防塵的作用，對(duì)出線方向有要求也應(yīng)向廠商提出，對(duì)于不能觸及的部位，可用手持式加速度計(jì)(帶長(zhǎng)探針)。
絕緣、地回路及磁電場(chǎng)輻射：
為了克服多點(diǎn)接地產(chǎn)生地回路電流影響測(cè)試，可以選用浮地或絕緣傳感器。沒有特殊要求且干擾不大的工況，可用絕緣型加速度計(jì)。而永久型監(jiān)測(cè)或干擾大的工況則應(yīng)采用浮地型。這二種命名的區(qū)別在于絕緣型傳感器的外殼為信號(hào)地，底座采取絕緣方法，而浮地型產(chǎn)品的外殼為屏蔽層，要采取三線方式。
聲波和磁場(chǎng)對(duì)傳感器的作用而引起的信號(hào)輸出的大小與傳感器靈敏度的比值被稱作為壓電傳感器的聲靈敏度和磁靈敏度。最直接減小傳感器聲靈敏度的方法是增加傳感器外殼的厚度，絕大多數(shù)傳感器的這一指標(biāo)都能滿足通常的測(cè)量條件。為降低傳感器磁靈敏度最直接的措施是金屬零部件盡量采用無磁或弱磁的材料，另外雙層屏蔽殼結(jié)構(gòu)形式也能較好地減小傳感器的磁靈敏度。
附加質(zhì)量：
在振動(dòng)結(jié)構(gòu)上安裝的加速度計(jì)的質(zhì)量只要小于結(jié)構(gòu)自身質(zhì)量的1/10即可，認(rèn)為對(duì)被測(cè)信號(hào)無大影響。
配套儀器
壓電類加速度計(jì)如是電荷輸出，可與任何一種高阻輸入的電荷放大器或具有電荷前置功能的采集器相配，電荷放大器種類較多，有單臺(tái)、多路、積分、準(zhǔn)靜態(tài)，這都要根據(jù)測(cè)量要求進(jìn)行選擇。
也有特例，如直接將壓電傳感器的輸出信號(hào)接入具有一定高阻性能的三次儀表(如示波器)，同樣可測(cè)得信號(hào)，但因阻抗匹配不夠，只能是定性了解動(dòng)態(tài)狀況。
ICP型內(nèi)置式加速度計(jì)專門有恒流適配器，一臺(tái)儀器可供多只加速度計(jì)的恒流供電及信號(hào)輸出。部分?jǐn)?shù)據(jù)采集儀器也自帶恒流功能，可直接與ICP傳感器配用。
普通電荷輸出型傳感器如與具有恒流輸出的數(shù)據(jù)采集器配套，可采用JM3861恒流適調(diào)器。
雙電源加速度計(jì)可由采集器提供雙電源或用雙路直流穩(wěn)壓電源供電。
加速度傳感器的安裝
用加速度計(jì)進(jìn)行測(cè)量，為使數(shù)據(jù)準(zhǔn)確和使用方便，可使用多種方法安裝，這有幾種，供大家選擇應(yīng)用。
1. 螺釘安裝
使用螺釘安裝，它的使用頻率響應(yīng)可近似原標(biāo)定的頻率響應(yīng)，且稱剛性安裝。螺釘安裝是在允許打孔的被測(cè)物上沿振源軸線方向打孔攻絲。
2. 粘接安裝
在被測(cè)物體不允許鉆孔時(shí)，可使用各種粘接劑，如“502”、環(huán)氧樹脂膠、雙面粘膠帶、橡皮泥。應(yīng)注意，前二種方法的使用頻率接近剛性安裝方法，后兩種一般用于低頻現(xiàn)場(chǎng)，且會(huì)使被測(cè)頻率大大降低。粘接方法不適合沖擊測(cè)量。
3. 磁座
磁座的優(yōu)點(diǎn)是不破壞被測(cè)物體，移動(dòng)方便。但是應(yīng)考慮用磁座測(cè)試會(huì)使加速度計(jì)的使用頻率響應(yīng)有所下降(磁座在使用時(shí)要將短于路片拆卸掉！)，可能低于三分之一。使用時(shí)應(yīng)先在被測(cè)物上安裝磁座，再擰上傳感器，或者將二者輕輕吸附于被測(cè)物上。沖擊狀態(tài)會(huì)使傳感器產(chǎn)生電荷積累，影響測(cè)試精度。
4. 云母片/四氟膜
云母片安裝有兩個(gè)作用，隔熱、絕緣。對(duì)高溫狀態(tài)試件，可用厚度<0.1毫米的云母片墊置，其加速度計(jì)頻率響應(yīng)會(huì)略有降低。對(duì)試件與加速度計(jì)間的絕緣，云母與四氟是最佳材料。
5. 三向傳感器安裝
為螺絲穿過通孔安裝，側(cè)端螺紋供檢測(cè)或測(cè)試用。
加速度傳感器排障處理
加速度傳感器在運(yùn)行過程中的常見故障和排除的方法，我們用下面這張表羅列：
故障類別
故障的具體表現(xiàn)
可能造成故障的原因
可能解決故障的方法
測(cè)量偏置電壓結(jié)果
偏置電壓不正確
偏置電壓等于供電電壓
因電纜連接或加速度傳感器內(nèi)部連線斷開而造成，更換電纜或傳感器。
偏置電壓接近零
因電纜連接或加速度傳感器內(nèi)部連線短路而造成，更換電纜或傳感器。
偏置電壓偏大或偏小，實(shí)際偏置電壓超出正常偏置電壓±2V的范圍
加速度傳感器內(nèi)置電路工作不正常，更換傳感器。
由環(huán)境溫度不穩(wěn)定地變化，造成偏置電壓漂移。加裝隔熱護(hù)套或更換傳感器。
偏置電壓不穩(wěn)定
偏置電壓來回漂動(dòng)，不能穩(wěn)定
由傳感器內(nèi)部電路不穩(wěn)定而造成，更換傳感器。
偏置電壓正確
傳感器內(nèi)部敏感芯體損壞
更換傳感器。
靈敏度問題
靈敏度低
加速度傳感器敏感芯體的絕緣阻抗下降
將加速度傳感器在其使用溫度范圍內(nèi)烘焙，靈敏度可以再回升，但一般會(huì)再下降。
傳感器敏感芯體的壓電系數(shù)衰減
重新對(duì)傳感器進(jìn)行標(biāo)定。
靈敏度偏差大
在非室溫的環(huán)境下，由于壓電材料溫度響應(yīng)系數(shù)過大而造成的靈敏度偏差
選用溫度響應(yīng)系數(shù)偏差小的傳感器
大測(cè)量信號(hào)失真
信號(hào)輸出變小
由于供電電壓降低而造成測(cè)量量程范圍減小
更換電池或更正供電電壓
因環(huán)境溫度與室溫不同而導(dǎo)致的偏置電壓超出規(guī)定的范圍
采用偏置電壓穩(wěn)定的傳感器
由加速度傳感器的非線性造成
采用量程大的傳感器
在長(zhǎng)距離信號(hào)輸送時(shí)，恒流電壓源的恒電流不夠大
根據(jù)信號(hào)頻率幅值選擇正確的電壓源恒電流
偏置電壓不穩(wěn)定
輸出信號(hào)與高頻諧次波疊加
一般由傳感器的諧振頻率造成，選擇諧振頻率較高的傳感器
小測(cè)量信號(hào)失真
信號(hào)忽大忽小不穩(wěn)定
由瞬態(tài)溫度變化以至偏置電壓忽大忽小而造成輸出信號(hào)不穩(wěn)定
采用偏置電壓穩(wěn)定的傳感器
外界環(huán)境噪聲對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響
接地回路造成的噪聲
避免多點(diǎn)接地，傳感器采用對(duì)地絕緣。
電磁波的影響
采用雙層屏蔽殼的傳感器。
強(qiáng)聲場(chǎng)的影響
采用雙層屏蔽殼的傳感器將有助于降低強(qiáng)聲場(chǎng)對(duì)加速度傳感器的影響。
瞬態(tài)環(huán)境溫度變化
對(duì)用于超低頻測(cè)量的高靈敏度傳感器必須采用隔熱護(hù)套。
被測(cè)點(diǎn)的基座應(yīng)變影響
選用基座應(yīng)變小的剪切型加速度傳感器，盡量減小傳感器與被測(cè)物體間的接觸面積。
測(cè)量系統(tǒng)噪聲對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響
加速度傳感器自身的電噪聲
檢定傳感器噪聲，選擇信噪比合適的傳感器。
電纜引起的電噪聲
往往發(fā)生在與電荷輸出型傳感器配用的低噪聲電纜，換用好的低噪聲屏蔽電纜。
傳感器供電電源噪聲
選用低噪聲供電電源或采用電池供電。
數(shù)采系統(tǒng)的量程設(shè)置
選擇合適的量程
低頻測(cè)量信號(hào)失真
系統(tǒng)低頻響應(yīng)差
加速度傳感器低頻響應(yīng)的截至頻率不夠低
檢查傳感器的低頻響應(yīng)（可通過測(cè)量時(shí)間常數(shù)來判斷）, 選用低頻好的傳感器。
與傳感器配套使用的恒流電壓源或電荷放大器的截至頻率不夠低
正確選用恒流電壓源和電荷放大器的低頻截至頻率。
系統(tǒng)低頻信噪比差
加速度傳感器的低頻噪聲大
低頻時(shí)傳感器的信噪比會(huì)顯著下降，選用滿足低頻信噪比指標(biāo)的傳感器。
外界對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響
瞬態(tài)環(huán)境溫度影響
對(duì)傳感器采用隔熱護(hù)套，選用溫度響應(yīng)系數(shù)小的傳感器。
高頻測(cè)量信號(hào)失真
高頻信號(hào)增大
由加速度傳感器安裝方式引起的高頻信號(hào)失真 （增大）
調(diào)整安裝方式，增加安裝接觸剛度，提高傳感器的高頻測(cè)量范圍。
加速度傳感器內(nèi)部敏感芯體諧振頻率低
選用諧振頻率高，高頻響應(yīng)好的傳感器。
加速度傳感器安裝絕緣底座連接剛度差
重新選擇高剛度絕緣安裝底座
高頻信號(hào)減小
在長(zhǎng)距離信號(hào)輸送時(shí)，恒流電壓源的恒電流不夠大
根據(jù)信號(hào)頻率幅值選擇正確的電壓源恒電流
隨著智能手機(jī)等消費(fèi)類電子的普及，要求設(shè)備具備更高的功能和可設(shè)計(jì)性，在這種情況下，對(duì)組件的高度集成化和小型化低功耗的需求強(qiáng)勁。小型封裝的3軸加速度傳感器和3軸陀螺儀的復(fù)合傳感器的漸漸出現(xiàn)，不但具有以上小型封裝陀螺儀的各種特點(diǎn)和功能，同時(shí)還擁有業(yè)界領(lǐng)先的低耗電量，僅為4mA。他們適應(yīng)了智能手機(jī)、平板電腦、游戲機(jī)、遙控器及其他小型智能設(shè)備，以及迎接人工智能時(shí)代的到來。
加速度傳感器的精度：加速度傳感器的原理以及如何選型
加速度傳感器的基本原理
線性加速度傳感器屬于不需要參照靜止坐標(biāo)系的慣性傳感器類。它們被連接到移動(dòng)平臺(tái)。 名稱中的“慣性”是指在運(yùn)動(dòng)中需具有足夠大的慣性。在導(dǎo)航設(shè)備中，加速度傳感器與陀螺儀配合使用，通常包含3個(gè)正交的速率陀螺儀和3個(gè)正交的加速度傳感器，分別測(cè)量角速度和線加速度。通過處理來自這些裝置的信號(hào)，就可以跟蹤運(yùn)動(dòng)物體的位置和方向。
加速度傳感器被用于測(cè)量物體受到包括重力在內(nèi)的外力所產(chǎn)生的加速度。雖然重力通常是一個(gè)指向質(zhì)量塊重心的恒力，但其他力可以在一個(gè)寬的幅度和頻率范圍內(nèi)變化大小和方向。 因此，典型的加速度傳感器應(yīng)可以響應(yīng)于各種形式的加速度———從勻速到緩慢移動(dòng)再到強(qiáng)沖擊和振動(dòng)。
從牛頓第二定律可知，定義加速度矢量為a=F/m,式中，F(xiàn)為力矢量；m為受引起加速度的力作用的物體質(zhì)量（標(biāo)量值)。
因此，質(zhì)量、加速度和力都互相聯(lián)系。 加速度的方向與力的方向相同。上式表明，為了測(cè)量加速度，我們需要提供已知質(zhì)量 m并測(cè)量由該質(zhì)量施加在力傳感器上力的大小 F。 力傳感器是加速度傳感器的關(guān)鍵部件， 其包括兩個(gè)零部 件: 一個(gè)在力的作用下變形的彈簧和一個(gè)用于確定變形量的變形傳感器。
轉(zhuǎn)換理論與特性
單軸加速度傳感器可定義為一個(gè)由質(zhì)量物體（有時(shí)稱為質(zhì)量塊或激振質(zhì)量塊）、彈簧狀支撐系統(tǒng)、具有阻尼特性的框架結(jié)構(gòu)（見下圖），以及位移傳感器組成的單自由度裝置。 為了制造一個(gè)功能加速度傳感器，其外殼需連接到運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。
質(zhì)量塊 m由壓縮彈簧支撐，該彈簧允許質(zhì)量塊上下運(yùn)動(dòng)。接下來，質(zhì)量塊連接到另外兩個(gè)部件:阻尼器和位移傳感器。阻尼器減慢質(zhì)量塊運(yùn)動(dòng)速度，而位移傳感器確定質(zhì)量塊相對(duì)于空檔（無加速度）時(shí)的位置。
將加速度傳感器用于特殊應(yīng)用時(shí)， 必須回答下列問題:
1） 振動(dòng)或線性加速度的期望幅值是多少？
2） 工作溫度是多少？ 環(huán)境溫度的變化有多快？
3） 期望的頻率范圍是多少？
4） 所需線性度和精度是多少？
5） 最大容許尺寸是多少？
6） 可以提供何種類型的電源？
7） 是否應(yīng)用于腐蝕性強(qiáng)或高濕度環(huán)境？
8） 預(yù)期過載有多大？
9） 是否應(yīng)用于強(qiáng)聲場(chǎng)、 電磁場(chǎng)或靜電場(chǎng)環(huán)境？
10） 是否機(jī)械接地？
加速度傳感器的精度：提高加速度傳感器精度的裝置
（
51
）
Int.CI?
權(quán)利要求說明書
說明書
幅圖
（
54
）發(fā)明名稱
?
提高加速度傳感器精度的裝置
（
57
）摘要
?
本實(shí)用新型提供了一種提高加速度傳
感器精度的裝置，包括：第一加速度傳感器
和第二加速度傳感器，其中，第一加速度傳
感器和第二加速度傳感器用于同時(shí)測(cè)量同一
物體移動(dòng)時(shí)的加速度，第一加速度傳感器和
第二加速度傳感器反向、平行的安裝在同一
物體的移動(dòng)方向的兩側(cè)。由于本實(shí)用新型中
利用兩個(gè)加速度傳感器反向、平行的安裝方
式，實(shí)現(xiàn)了快速簡(jiǎn)單的對(duì)加速度傳感器進(jìn)行
“標(biāo)零偏”的工作，可以及時(shí)的校正加速度
傳感器的“零偏”。
加速度傳感器的精度：高精度加速度傳感器,高精度mems傳感器
RS9000是Colibrys
新型的開環(huán)MEMS電容式加速度傳感器。RS9000實(shí)現(xiàn)了在嚴(yán)酷環(huán)境下高等級(jí)慣性和高穩(wěn)定性等測(cè)量方面的重大突破，新型的RS9010.B是基于新MEMS單元，采用Colibrys
新技術(shù)實(shí)現(xiàn)的加速度傳感器，此款RS9000是專門為實(shí)現(xiàn)高穩(wěn)定的零偏和比例因子而設(shè)計(jì)的，同時(shí)改善了振動(dòng)整流性能，并增強(qiáng)了溫度特性。
RS9000外接開環(huán)電子線路，適用于長(zhǎng)期穩(wěn)定性，該集成電路提供與加速度成比例的輸出電壓，同時(shí)提供與溫度成比例的輸出，以進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)級(jí)的溫度補(bǔ)償。新型的RS9000外型與之前的MS9000兼容，但要求外加高精密匹配電阻，以確保外部參考電壓（VAGND）的精確和穩(wěn)定。
RS9010.B 單電源電壓供電（+2.5V至+5.5V），低功耗（< 0.5mA @
5V），在+5V電源電壓條件下，對(duì)全量程的加速度范圍，比率輸出的模擬電壓介于+0.5 V至+4.5
V之間，該傳感器采用完全自備式LCC 20陶瓷封裝，因此保證了產(chǎn)品的全密閉性。
西安測(cè)控自主研發(fā)并生產(chǎn)陀螺、加速度計(jì)、傾角傳感器、磁羅盤等慣性產(chǎn)品，與此同時(shí)提供慣性導(dǎo)航系統(tǒng)及組合導(dǎo)航系統(tǒng)，小型化、低成本的組合導(dǎo)航系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于無人機(jī)、車載動(dòng)中通、智能駕駛、水面裝配、無人水下航行器，公司為各類火箭彈、智能炮彈等提供姿態(tài)控制解決方案，并為無人駕駛系統(tǒng)提供導(dǎo)航、飛控一體化平臺(tái)，測(cè)控在產(chǎn)品技術(shù)及產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)處于位置，廣泛應(yīng)用于工業(yè)及軍等行業(yè)，并廣泛替代同類進(jìn)口產(chǎn)品。
西安測(cè)控是瑞士Colibrys
RS9000授權(quán)代理商，提供測(cè)試MS8000/MS9000系列,震動(dòng)測(cè)試VS1000/VS9000系列,高精度RS9000系列,高過載測(cè)試HS8000系列,傾斜測(cè)試MS9001/RS9002系列,高溫測(cè)試TS1000系列等Colibrys加計(jì)。
相關(guān)產(chǎn)品：高精度加速度傳感器 , 高精度mems傳感器
