發布日期：2022-11-05 點擊率：48
被檢容器和檢漏儀器的敏感元件處于真空狀態，示漏物質施加在被檢容器的外部，如有漏孔存在，示漏物質便通過漏孔被吸入容器和儀器敏感元件空間，由敏感元件檢測出示漏物質的存在，從而可判定漏孔的位置和大小。
檢漏方法 | 工作壓力Pa | 現象 | 設備 | 最小可檢漏率Pa*L/s |
靜態升壓法 | 靜態壓力上升 | 真空計 | 10-2~10-3 | |
放電管法 | 放電顏色改變 | 放電管 | 1~10-1 | |
高頻火花檢漏器法 | 103~5x10-1 | 亮點，放電顏色改變 | 高頻火花檢漏儀 | 1~10-1 |
熱傳導真空規法 | 103~5x10-1 | 真空計讀數變化 | 熱偶或電阻真空計 | 10-3 |
電離真空規法 | 10-2~10-6 | 電離真空計 | 10-6 | |
差動熱傳導真空規法 | 103~10-1 | 熱傳導真空計差動組合 | 10-4 | |
差動電離真空規法 | 10-2~10-6 | 電離真空計差動組合 | 10-7 | |
具有吸附阱的熱傳導真空規法 | 熱傳導規液氮活性炭阱 | 10-4 | ||
具有吸附阱的電離真空規法 | 冷陰極電離規，液氮硅膠阱 | 10-7~10-10 | ||
氫鈀法 | 50~10-5 | 氫通過鈀管使真空計讀數變化 | 鈀管、電離真空計 | 10-4~10-8 |
鹵素檢漏儀內探頭法 | 10~10-1 | 儀表讀數變化 | 鹵素檢漏儀 | 10-4~10-6 |
離子泵檢漏法 | 10-4~10-7 | 離子流變化 | 離子泵本身 | 10-6~10-9 |
氦質譜檢漏儀法 | 10-2 | 輸出表及音響頻率變化 | 氦質譜檢漏儀 | 10-7~10-9 |
四極質譜計分析法 | 10-2 | 輸出表及音響頻率變化 | 四極質譜計 | 10-9 |
(慧樸科技，huiputech)
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